氣動超高真空插板閥系列閥門為氣動驅動方式，在結構設計上合理，在外形上美觀，并具有動作平穩、體積小、使用可靠、密封性能好和壽命長等優點，能廣泛應用于超高真空設備中。真空閥門是以壓縮空氣推動氣缸為動力，通過傳動桿推（拉）動連桿機構，帶著驅動體沿軸向運動，驅動體通過擺桿或鋼珠與閥板連接，完成閥板開啟及關閉動作。閥門的介質為空氣及非腐蝕性氣體。

氣動超高真空插板閥特點

軸封為波紋管密封，其它密封件為氟橡膠，無潤滑劑設計；
閥體采用不銹鋼內部焊接，漏率小；
閥體采用加強筋結構，體積小、重量輕，外形美觀；
采用雙導軌軸承滾輪機構，運動平穩；閥板內整體式結構，支撐力均勻。

超高真空氣動插板閥主要零件材料

閥體、閥板：不銹鋼
密封件：氟橡膠、波紋管(軸封)、丁腈橡膠

氣動超高真空插板閥主要技術性能

適用范圍： 105~1.3×10-7Pa
閥體和閥座漏率： ≤1.3×10-7Pa.L/S(DN≤200)；≤6.7×10-7Pa.L/S(DN≥250)
適用溫度： -30~+150℃
閥體烘烤溫度：打開時≤200℃；關閉時≤150℃
閥門開啟時閥板兩側的壓差：≤2.7×103Pa
閥門啟閉時間：DN 63~250 ≤6s；DN 320~400 ≤10s
氣源壓力： DN 63~200：0.4～0.7MPa；DN 250~400：0.5～0.7MPa
閥門位置指示：帶有啟閉位置指示開關（磁性開關）
安裝位置：任意

氣動超高真空插板閥外形及連接尺寸(mm)